针头清洁兼容
清理支持
各种测试头/探针卡连接件
装载机:2 台装载机/带 AMHS 的自动化支持
头台倾斜装置(探针卡倾斜装置)
卡盘:常温/高温/低温/(各低噪音)
APC:探针卡自动更换
盒式 ID 读取器
晶圆 ID 读取器(正面/背面)
GB-IB接口
晶圆探测机网络系统(Veganet、Light-Veganet、Vega-Planet、GEM)
PCAS(探针卡自动设置)
探针卡PGV
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